福斯特萬 晶圓上下料機
對應8&12寸，晶圓雙臂機械手，Loadport能够自動識別200mm、300mm片盒，集成在位檢測，Fly out檢測、Barcode reader等功能，配備風機過濾系統（FFU），配備靜電消除器，消除Wafer表面靜電，配備Wafer ID讀取識別的OCR模塊，可應對條形碼、二維碼、數字及字母，配備Cassette ID讀取模塊或條形碼讀取模塊，SECS/GEM廠務通訊模塊。
對應8&12寸，晶圓雙臂機械手，Loadport能够自動識別200mm、300mm片盒，集成在位檢測，Fly out檢測、Barcode reader等功能，配備風機過濾系統（FFU），配備靜電消除器，消除Wafer表面靜電，配備Wafer ID讀取識別的OCR模塊，可應對條形碼、二維碼、數字及字母，配備Cassette ID讀取模塊或條形碼讀取模塊，SECS/GEM廠務通訊模塊。
產品規格
| 晶圓尺寸 | 8"、12"晶圓 |
|---|---|
| 晶圓厚度 | 150μm ~ 2000μm |
| 晶圓種類 | 硅，砷化鎵或其他材料 |
| 載具種類 | 8"、12"兼容Loadport |
| Robot精度 | ±0.1mm |
| Aligner精度(Option) | ±0.1mm；±0.1° |
| 防靜電控制 | 防靜電特氟龍塗層手指/除靜電離子風棒 |
| 控制單元 | 基於PLC控制，帶10.1"觸摸屏 |
| 安全保護 | 門開關互鎖sensor和緊急停機按鈕 |
| 電源電壓 | 單相交流電220V，16A |
| 壓縮空氣 | 5公斤清潔乾燥壓縮空氣流量100升/分鐘 |
| 機器外殼 | 白色噴塑金屬外殼 |
| 體積 | 1030毫米(寬) * 1530毫米(深) * 1820毫米(不含燈高) |
| 淨重 | 600公斤 |
| 每小時傳片 | ≤300片(without aligning and OCR) |
| MTBF | >1000小時 |
| MTTR | <1小時 |
| 停機時間 | <3% |
← 左右滑動可查看更多資料 →