標譜
正倒裝一體探針台
適應元件
LED芯片、CSP LED
芯片尺寸
3*3mil - 120*120mil
XY重複定位精度
≤5μm
探針總數
2、4、8、16、20可選
產品規格
| 適應元件 | LED芯片、CSP LED |
|---|---|
| 探邊器 | 2組主動式探邊針座 |
| 三維座 | 可調節 ±3.5mm |
| 工作行程 | X210mm Y440mm |
| Z軸行程 | 6mm 行程 |
| XY垂直度 | 10μm |
| 片源治具 | 4、6寸DISCO鐵環及7寸子母環 |
| 芯片尺寸 | 3*3mil - 120*120mil |
| 探針總數 | 2、4、8、16、20可選 |
| 工作尺寸 | 4寸1.2倍擴膜 |
| XY精度 | 定位精度 ≤ 100um/200mm 重複定位精度 ≤ 5μm |
| θ軸旋轉角度 | ±19° |
| 工作盤平面度 | 中心五寸 ≤ 12μm, 外圈 ≤ 15μm |
| 尺寸 | 1290mm * 830mm * 1850mm |
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